通過半導(dǎo)體材料制備及光刻虛擬仿真系統(tǒng)的學(xué)習(xí)，可以全面了解半導(dǎo)體材料制備與加工的基本知識和工藝流程及半導(dǎo)體芯片光刻顯影和芯片去膠核心工藝流程。半導(dǎo)體材料制備與加工模塊包括半導(dǎo)體材料的高溫高壓合成、半導(dǎo)體單晶的生長、半導(dǎo)體單晶的加工等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制備與加工工藝的基本知識，半導(dǎo)體芯片光刻模塊涵蓋光刻顯影、顯影檢測、芯片去膠及去膠檢測等全過程。

該系統(tǒng)采用先進的計算機技術(shù)和計算機編程軟件，配合二維動畫、三維動畫及多媒體仿真等技術(shù)，通過3D模型進行虛擬仿真學(xué)習(xí)半導(dǎo)體芯片制備與加工的實驗操作、數(shù)據(jù)獲取、數(shù)據(jù)處理的流程，通過人機交互操作和練習(xí)鞏固，掌握基本的實驗原理知識點。

虛擬仿真系統(tǒng)教學(xué)驗，激發(fā)學(xué)習(xí)動力，促進學(xué)生個人的自我完善和發(fā)展;同時為學(xué)有余力、學(xué)有興趣的學(xué)生提供拓展知識，提升其創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)思維和能力的空間。

（一）半導(dǎo)體材料制備及光刻虛擬仿真系統(tǒng)優(yōu)勢

①課前預(yù)習(xí)：類似于常規(guī)試驗的預(yù)習(xí)，學(xué)習(xí)并掌握實驗安全、實驗?zāi)康?、實驗原理、操作流程、注意實?xùn)等，

②實驗?zāi)M：通過對話框的形式，引導(dǎo)學(xué)習(xí)者進行虛擬仿真的實體操作，包括合成、制備、加工、光刻顯影等。

③實驗考核：自主考核操作選擇，無任何提示，提高實驗難度，檢測學(xué)生學(xué)習(xí)進度。

④提交考核：實驗操作完成后，對實驗結(jié)果進行評比，并提交給教師評閱

⑤教學(xué)反饋：增加師生互動，根據(jù)學(xué)生的學(xué)習(xí)情況持續(xù)改進課程體系。

⑥場景漫游：復(fù)刻現(xiàn)實版實驗室，學(xué)生可以在該實驗場景內(nèi)自主漫游。通過多方位觀察實驗設(shè)備及實驗。

（二）半導(dǎo)體材料制備及光刻虛擬仿真功能：

①實驗原理

實驗原理文字介紹。利于學(xué)生課前復(fù)習(xí)，實驗中查看，教師可梳理實驗原理內(nèi)容，輔助學(xué)生實驗學(xué)習(xí)。

②實驗?zāi)K

實驗?zāi)M；實驗操作流程模擬，每項實驗均會有彈窗提示，直至學(xué)生完成整項實驗，適用于學(xué)生進行實驗學(xué)習(xí)。

實驗考核；自主實驗考核，無提示，按照學(xué)習(xí)過的知識點進行實驗操作，實驗結(jié)束后提交實驗分值，成績與教師實時共享。

1.半導(dǎo)體材料的合成：該模塊以第三代半導(dǎo)體材料SIC為例，以三維過程動畫和交互操作的形式讓學(xué)生模擬原料的配料、混合研磨、開爐、裝料、抽真空、開啟冷卻水、升溫合成、清理等一系列的半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)化合成的操作過程。

2.半導(dǎo)體單晶的制備：該模塊是通過虛擬仿真半導(dǎo)體單晶的引晶、縮頸、放肩、等徑生長及收尾等全套操作過程。學(xué)生按照提示信息操作軟件過程中，當(dāng)學(xué)生選擇錯誤選項時，系統(tǒng)會自動提示錯誤，選擇正確后繼續(xù)下一步驟操作。

3.半導(dǎo)體單晶的加工：該模塊是通過虛擬仿真半導(dǎo)體單晶的加工設(shè)備，讓學(xué)生學(xué)習(xí)半導(dǎo)體材料的切割、研磨、拋光等工藝流程的學(xué)習(xí)。通過圖文并茂的形式講解各個操作步驟，把各個關(guān)鍵知識點嵌合到模塊中，切實提升學(xué)生們的實踐能力。

4.光刻顯影：該模塊是對半導(dǎo)體芯片制備的前烘、涂膠、曝光、顯影、檢查和去膠剝離等工藝流程及其細(xì)節(jié)的高度還原，“真實、動態(tài)、實時”地呈現(xiàn)半導(dǎo)體芯片加工過程，讓學(xué)生在虛擬的操作體驗中不斷探索反思，掌握半導(dǎo)體芯片制備技能并深刻理解其物理機理。

④實驗步驟

四項實驗?zāi)K的操作流程展示。

實驗流程（操作說明），每項流程對應(yīng)實驗完成進度，每完成一項實驗，進度狀態(tài)由“未完成”改為“已完成”?？赏ㄟ^實驗步驟了解實驗中的操作是否正確或是否有操作遺漏。

⑤幫助文檔

系統(tǒng)輔助操作文檔。

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